賽默飛已設計生產了特定大小的微粒用來校準用于半導體工業的掃描表面監測系統(SISS)。
通過與儀器生產商合作,研發生產出Surf-Cal微粒尺寸標準品(干)系列產品以滿足SEMI 標準規則要求。可提供的微粒尺寸包括半導體國際技術藍圖 (ITRS)1定義的關鍵的尺寸節點的大小。
使用賽默飛Surf-Cal微粒尺寸標準品(干),粒度標準簡化校準晶片的制備,用于掃描表面檢測系統(SSIS)的校準和維護。可用的粒徑對應于儀器制造商要求的校準點尺寸。
特點:
Surf-Cal微粒尺寸標準品(干)
標稱直徑
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